市場應用
微機電 (MEMS) 封裝玻璃:
使用高品質硼鋁矽無鹼玻璃為封裝(外罩)材料,主要在於提供良好的絕緣性與氣密性,但必須考量使用的封裝(外罩)材料,其熱膨脹係數(CTE)與矽晶圓相近,避免造成密封不良等情形發生。
TGV (Through-Glass Via) 穿孔玻璃晶圓:
TGV技術是透過垂直導通來整合晶圓堆疊的方式,以達到晶片間電氣互連的目的,非常適合3D立體封裝。無鹼玻璃晶圓表面平整度高,並且具有良好的熱穩定性和化學穩定性,因此為此應用的最佳材質。
LCOS (Liquid Crystal On Silicon) 封裝玻璃:
微顯示器件的光學性能依賴於封裝玻璃(保護罩)的品質,封裝玻璃(保護罩)必須具有增透膜的卓越光學穿透性以及高平坦度,所以一般均採用無鹼導電玻璃。
OLED (Organic Light Emitting Diode) 封裝玻璃:
無鹼玻璃可避免OLED有機元件遭受水氣與氧氣破壞,封裝效果最好。
‧
鑽孔玻璃晶圓:
在晶圓級封裝結構中,兩基板之間需要一個有孔玻璃晶圓來調整基板之間的距離,達到焦距的匹配。
終端產品應用
‧
微機電系統(MEMS)
‧
CMOS影像感應器
‧
LED模組
‧
集光式太陽能光伏電池
‧
記憶體
‧
邏輯IC、類比IC與射頻IC‧
微流體/微反應裝置‧
微投影裝置
光電元件‧
‧
微電池/燃料電池
‧
電力零組件